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CHEE 543 Plasma Engineering (3 credits)

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Offered by: Génie chimique (Génie et l'architecture)

Vue d'ensemble

Génie chimique : Description of the plasma state and parameters, plasma generation methods, and of the related process control and instrumentation. Electrical breakdown in gases and a series of discharge models are covered. Plasma processing applications such as PVD, PECVD, plasma polymerisation and etching, environmental applications, nanoparticle synthesis, spraying and sterilization are treated.

Terms: Automne 2010

Instructors: Coulombe, Sylvain (Fall)

  • (3-1-5)
  • Prerequisites: CHEE 220 and CHEE 314 or equivalent.
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